现在很多清洁真空应用中都需要选用干式真空泵，其中又以容积式的居多。那常见的容积式干式真空泵都有哪些呢？

我们所说的干式真空泵一般是指可以大气压下直接运行，并且可以直排大气的真空泵。因为泵腔内不使用任何的油液进行密封与润滑等，因此就不会污染抽气介质，也不存在泵腔内的油气返流到高真空端的问题。它的类型涉及多种，其中常见的以容积式干式真空能居多，常见的主要有以下几种：

首先是由油封真空泵改变而来的几种容积式干式真空泵：干式旋片泵与干式往复真空泵，它们主要是通过自润滑材料替代了旋片泵中的普通旋片以及活塞泵中的活塞环与密封环，从而不再需要润滑油来进行密封润滑。改变为干式之后，他们真空度性能会有所下降。往复泵中还有一个比较特殊的类型，就是隔膜真空泵，它其实也是一种干式真空泵，但属于小型泵，抽气量较小。

然后就是爪式真空泵、螺杆真空泵以及涡旋真空泵、罗茨真空泵。爪式真空泵与涡旋真空泵只有干式的，而螺杆真空泵中还有喷油的多头螺杆真空泵，一般单头螺杆真空泵才是干式真空泵。而罗茨真空泵中，除了湿式罗茨，其他像气冷、多级的都是属于无油的干式真空泵。

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