电子轰击除气是真空应用中会涉及到的一种除气方式。螺杆真空泵厂家这次与大家一起了解下电子轰击除气中的两种具体放电方式。

电子轰击除气中的两种放电方式，一个是低压直流电子轰击，而另外一个是高压脉冲电子轰击。

低压直流电子轰击是电子轰击除气中较为常用的放电方式。但是这种放电方式有个缺点就是电子能量（1×10⁴eV）与穿透深度较小，因此除气效率较低。

与之相比，高压脉冲电子轰击中，能力更高的高能电子可以沿着曲折的路径穿过氧化膜，从而增大氧化物分子的离解几率。因此，在电极耗散的平均功率相同时，高能电子脉冲轰击的除气效率可以得到显著提高。另外，高压脉冲电子轰击还有个特点就是，轰击时产生的热量进入到金属的深度小，当脉冲宽度达到毫秒级时，深度才能增加到1mm。一般为提高效率，在开始轰击时会用较高的电压，随着氧化膜的去除，放气率逐渐减小，这时会相应降低轰击电压。

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