干式螺杆真空泵的排气端是整个泵体温度较高地方，因此除了夹套水冷却外，必要时还会通过冷却吹扫来进一步降低该处的温度。

干式螺杆真空泵运行过程中，随着转子的转动与齿间容积的变化，气体由进气端不断向排气端运动。无论是变螺距的干式螺杆真空泵还是等螺距的，都会在出口处完成最终的气体输送压缩。因此在泵的排气端会积聚大量的热能，温度相较于其他部位就会更高。如果温度过高对被抽介质或者工艺，甚至转子、泵体有影响，单独的夹套水冷已经无法满足要求，就可以在干式螺杆真空泵的排气端附近设置冷却吹扫入口，直接在排气端附近通入冷却气体来对内部进行进一步冷却。

冷却吹扫的介质最普通常用的就是经过过滤的空气，同时会在靠近排气口的冷却气体入口处安装有过滤器，如下图位置：

如果常规的过滤空气无法满足要求，可以使用冷却气体与热交换器来提高冷却效果。

如果被抽介质有被污染的风险，则可以使用氮气等惰性气体进行冷却。

此外，对于一些含粉尘的气体以及可能会凝结的气体，冷却吹扫还可以降低可凝气体的分压防止凝结，以及减少颗粒物在排气端的积聚。

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