高真空中的灼热表面是引起真空系统中气体反应和转化的关键因素之一，所以本篇螺杆真空泵厂家和大家一起聊聊高真空中残余气体在热表面上常见的反应有哪些。

高真空环境下，虽然残余气体会因具体情况有所不同，但主要的成分一般包括H₂、H₂O、CO、CO₂、CH₄、He等。

氢气在温度高于1000K的表面上那个能够以比较大的比例离解为原子态。原子态氢很活泼，能吸附与器壁并与器壁上的杂质发生反应。如在高温钨灯丝系统中，充入H2会使H₂O、H₂O₂、CO、CO₂、CH₄、C₂H₆的分压力升高。当真空规管的管壳、电机、热灯丝提供了碳和氧时，原子态氢可与它们反应最终生成H₂O、CH₄等。

氧气在真空系统的残余气体中不多，但它同样是一系列反应的重要中介因素，如与高温钨灯丝反应形成各种钨的氧化物，和金属中的碳杂质能生成CO与CO₂（产生的量和碳的含量有密切关系）。在一定的高温下，氧气还可能离解成原子氧，与冷壁与电极上的碳或污物反应形成CO。

H₂O在高温表面会离解反应生成H₂和原子态氧，如果系统高温表面含碳，则能生成CO，原子氧会与钨等金属形成金属氧化物，然后被热灯丝离解的原子氢还原，再次生成水，形成水蒸气循环（朗缪尔循环）。考虑到这些次级过程，H₂O反应的最终气体产物会有H₂、CH₄、CO、CO₂。

CO₂主要是在高温灯丝的作用下生成CO和氧。

甲烷在热表面上主要是受催化作用而离解生成H₂并在表面残留下碳，这个过程是可逆。同时氢、碳反应还能形成非饱和的碳化氢。

上述这些各种气体之间彼此产生，相互转化、制约，形成循环平衡，其中碳、氧是构成这个循环平衡的关键因素，但只是中介因素，在最后的气相中并不出现，因此在循环平衡后，在气氛中所表露的成分为CO、CO₂、CH₄、H₂O、和H₂。

珂勒曦是一家坚持自主研发的螺杆真空泵厂家，旗下螺杆真空泵产品自研型线，清洁无污染，拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势，广泛适用于医药、化工、半导体等行业。如果您对珂勒曦螺杆真空泵感兴趣或想了解更多，欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线：400-886-7766，期待您的来电。