在真空工艺应用中，真空设备需要满足真空工艺各类参数需求。为了更好的实现这一需求，不仅对真空设备性能有要求，同时也需要环境能够给设备提供良好的运作条件，保证设备稳定运行，好环境才有好性能。

我们把没有特殊要求的真空工艺过程称之为常规真空工艺，这类工艺对环境的要求具有一定的普遍性，主要包括以下几点：

1、保证处于真空状态或真空中的真空设备零件机器表面，没有积存的污染源，包括尘埃、铁屑、锈蚀等。

2、真空设备的真空室表面要光滑，无松软组织和气孔，无死空间，内焊缝无影响真空的缺陷。

3、高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，而要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

4、无油超高真空系统要避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能，为具体的工艺过程提供清洁的超高真空环境。

超高真空金属系统常用1Cr18Ni9Ti为结构材料；有些部位可能使用无氧铜、可伐合金、纯金、纯银、钨、钽、钼、钛等。绝缘材料常用玻璃和95真空瓷；而高分子聚合物由于可能分解出碳氢化合物污染系统，不能使用；饱和蒸气压较高的材料，如锌及其合金也不能使用。

超高真空系统中材料的出气是限制真空度提高的重要因素。一方面可采用清洗、抛光、把零件部件放在真空柜中保存或真空预热除气等方法降低出气速率，以改善材料的原始处理情况。另一方面还可以采用真空系统高温烘烤除气，加速材料出气，使材料表面吸附和吸收的气体分子加速放出并被排出，冷却后材料的出气速率会降低几个数量级。因此，对于一般需要达到10^-7Pa以下压力的真空系统，都必须要烘烤除气。

5、真空设备一般应在温度为15℃～30℃、相对湿度不高于70%，空气清洁的流通环境中工作，冷却水进水温度不高于25℃。另外真空设备所在的实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面，无尘埃。

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