在真空测量过程中，气体的成分会影响到被测真空度的准确性。因此在真空测量中需要了解被测空间内的气体成分。那不同的气体种类会对真空测量造成哪些方面的影响呢？

气体种类的不同对真空测量的影响主要包括两个方面。

首先是是对测量读数的影响。真空测量中，真空计分直接测量与间接测量。直接测量的，像一些弹性元件真空计与电容薄膜真空计等，测量的是气体的全压力，与气体种类无关；但对于间接测量的，像热传导真空计、电离真空计等，其测量结果就与气体种类以及组分有关，就可能会对真空测量读数产生影响，需要加以修正。

如氮气等惰性气体以及较纯的空气，部分真空计出厂会以此为基础标定，因此对读数没什么影响。但是被测气体特殊工艺气体、水蒸气、油蒸气等复杂的气体组合，就会影响真空计的测量结果。因此真空测量中引入了灵敏度的概念，对不同的气体测量进行修正。

其次是不同的气体种类可能会对真空计产生影响或在测量过程中发生成分改变。

被测气体中，尤其是氧气、水蒸气、油蒸气可能会对真空计产生影响。如采用电阻真空计时，氧气和水蒸气会氧化规管热丝，改变热丝表面状态；油蒸气会附着在热丝或管壁上，改变表面性能。这都会引起真空规管零点漂移和灵敏度的改变。采用高压力热阴极电离真空计时，氧气和水蒸气会损耗规管的热阴极；而油蒸气则会在高温阴极表面或电子的轰击下分解生成碳氢化合物，从而污染电极和规管壁，使其灵敏度和特性发生变化。

因此为了进行准确的真空测量，需要充分了解被测气体成分，并准备合适的测量器具。如在粗低真空，测量氧气、水蒸气等的压力，就可采用前面提及的电容式薄膜真空计。

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