低温泵抽气系统广泛用于对污染控制要求严格的各个领域，如空间环境模拟、半导体制备、真空镀膜、材料试验、核物理实验等。螺杆真空泵厂家珂勒曦今天和大家一起简单认识下几种低温泵抽气系统的构成。

低温泵抽气系统的构成，根据被抽真空室的大小不同而不同，可以分为小型、中型、大型这几种情况。

对于小型的装置，配置较为简单，主要包括低温泵、主阀、干泵及其他管路阀门等。如图：

用干泵将真空室抽至20～30Pa，即可以打开主阀，用低温泵抽真空室。为避免干泵的润滑脂蒸气返流，也可以采取更高的切换压力，如100Pa。切换压力的高低主要取决于低温泵吸附阵的阵容。

中型低温泵抽气系统主要是在小型系统的基础上增加配置了涡轮分子泵，一方面可以降低启动压力（分子泵可以抽至5×10^-2Pa），延长低温泵的工作周期；其次干泵抽至一定压力后，再启动分子泵可以缩短到达工作压力的时间；最后真空室有漏气时，分子泵较大的抽速可以使真空室达到较高的真空度，有利于检漏。干泵在系统中，首先用于粗抽，后期转为分子泵的前级泵，以及作为低温泵的再生抽气与降温过程中的排气。

大型低温泵抽气系统，如空间环境模拟，它的抽气容积大、清洁度要求高、运转周期长，因此粗抽会选择罗茨-螺杆真空机组；为了清洁真空，会设置液氮阱，防止油蒸气进入真空室；同时会为低温泵配置专用的涡旋泵，用于泵的再生与降温过程的抽气。

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