吸附在物体表面上的气体分子在低压或受热时，会脱离固体表面的束缚回到空间中去，这个过程就是脱附。介绍过吸附后，螺杆真空泵厂家再和大家一起来认识下有哪些方式可以实现脱附。

前面已经说过，吸附分化学吸附与物理吸附。化学吸附时，脱附就需要克服化学吸附热以及吸附活化能两者形成的总位垒能量。而物理吸附时，脱附需要克服的能量与其吸附热等量（化学吸附中的非活化化学吸附，如果其激活能为零，那它的脱附也就只要克服吸附热）。脱附过程中，外界所提供的能量，我们可以称之为脱附能。

根据脱附能的获得方式，脱附实现的方式也有多种。首先是热脱附。保证系统的温度足够高，这样相当大的一部分的吸附粒子由于其能量高于麦克斯韦分布中的脱附能而可以离开表面，这个我们就称之为热脱附。

第二，电子激发脱附，也称电子碰撞脱附或者电子诱导脱附。电子碰撞可以使吸附粒子跃迁到吸附物的激发态或离子态。激发态或离子态的粒子在基态的平衡距离下，其势能比自由粒子的势能要高，所以离子或中性粒子可以从吸附表面脱附。

第三，光致脱附，其过程与电子激发脱附类似。

第四，离子碰撞脱附。离子或快速中性粒子的碰撞也可以通过不同的途径使吸附粒子移开。

第五，场致脱附。强电场（1V/0.1nm的数量级）可以使吸附的粒子发生由基态到离子态的隧道效应，使吸附物粒子立即从表面离开。

以上就是实现脱附的几种方式。真空应用中，像在真空材料的表面除气，一般常用的就是热脱附、电子碰撞脱附以及离子碰撞脱附。

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