物理气相沉积，英文全称Physical Vapor Deposition，简称PVD。与CVD一样，它是气相沉积技术之一。螺杆真空泵厂家在介绍真空镀膜方法中提到过几种具体的PVD技术，今天我们来了解下它的一些基本知识。

物理气相沉积（PVD）简单的定义就是在真空条件下，用物理的方法（如热蒸发、粒子束轰击产生的溅射等）将材料气化成原子、分子或电离成离子，并通过气相过程在衬底上沉积一层具有特殊性能的薄膜技术。作为一种表面处理技术，与传统的电镀相比，PVD膜层与表面的结合力更大、硬度更高，耐磨性与耐腐蚀性更好，膜层的性能更稳定，而且种类广泛，美观漂亮，也不会产生有毒或有污染的物质。与另外的气相沉积技术CVD相比，PVD工艺相对较低的沉积温度（196～510℃，最低可至80℃）以及更加合适的涂层厚度（1～5μm），使其应用更加广泛，尤其是在需要保持接近的公差范围以及基体材料对温度敏感的情况下。

《真空镀膜应用中，其主要方法有哪几种？》一文，螺杆真空泵厂家小编介绍过程中就提到了蒸镀、溅射镀、离子镀以及卷绕镀膜等4种PVD技术。而不管是哪种具体的PVD工艺，基本上都包含真空室、真空系统、加热及冷却系统、电源系统、控制系统等部分，涉及真空技术、等离子体技术、偏压电源技术、PLC控制技术等学科科技。而沉积过程主要包括3个阶段：首先从原材料中发射出粒子，其次粒子被输运到基片，最后粒子在基片上凝结成核并长大成膜。

目前物理气相沉积（PVD）技术的应用主要涉及两大类，一个是装饰性的涂层镀膜，另一个是工具镀。装饰镀主要是为了改善外观（可以镀上各种颜色），同时实现耐磨耐腐延长使用寿命，如五金行业的各个领域。而工具镀主要是为了提高产品的硬度与耐磨性，降低表面的摩擦系数，延长使用寿命，节省成本，典型的应用如各种车削刀具、刀剪的PVD涂层等。

而PVD能够制备的涂层，包括单一的金属膜（如铝、钛、锆、铬等)、氮化物膜（TiN、ZrN、CrN、TiAlN）、碳化物膜（TiC、TiCN）以及氧化物膜（如TiO）等。

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