真空泵为满足各种性能需要，在真空泵壳体材质选择上也会有诸多要求，尤其是一些工作介质环境较为恶劣的场合。那具体的壳体材质又有哪些，都有些什么要求呢？

真空泵材料种类众多，如金属合金、陶瓷、橡胶塑料、玻璃石英、炭纤维等等。而真空泵壳体材质主要是两大类：金属和玻璃。

金属作为真空壳体材质主要包括铁、铜、铝为基础的金属及各种合金，如低碳钢、不锈钢、无氧铜、紫铜、铝以及覆铝、铜、镍的钢或铁材。它们拥有良好的机械强度与可加工性，各种金属材质针对不同的真空应用特点，有各异的性能与出气率表现。具体可查询各类金属合金的物理机械性能表。

而玻璃则主要用于一些玻璃真空系统（如玻璃扩散泵、阀）、观察窗以及一些规管外壳、高压电极绝缘体等，具有透明、价格低、易加工、绝缘等优点，缺点就是强度低易碎。玻璃的种类也较多，根据软化温度与膨胀系数的不同，有软玻璃、硬玻璃以及石英玻璃的区分，性能各异。

无论是金属或是玻璃，真空泵壳体材质需要具备：一定的机械强度与刚度，能保证在常温与烘烤温度下承受大气压力，并且不发生变形；良好的气密性，不存在多孔结构、裂缝及其他渗漏等缺陷；较低的出气速率与渗透速率；工作温度与烘烤温度下的饱和蒸气压低；化学稳定性好，不易氧化和腐蚀，也不会与系统中的工作介质发生法应；温度稳定性好，在一定温度范围内能保持其真空性能与力学性能；易加工，有较好的焊接性能，良好的经济性。

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