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珂勒曦小课堂:真空微调阀

信息来源:珂勒曦 时间:2019-09-10 08:14:00 浏览次数:-

真空微调阀也叫真空针阀,一般用于高真空或超高真空中的气流量调节。今天螺杆真空泵厂家与大家一起简单了解下它。

真空微调阀

真空微调阀总结起来其实就是一个流量调节装置,用以调节气体流量,控制真空系统的真空度。它的阀塞为锥形长针,与阀座间的密封依靠其锥面紧密配合等方式实现。调节过程中,靠螺杆传动来控制锥形长针升降,调节与阀座之间形成的孔隙长度,改变阀座流导值,实现连续细微的调节。根据行业标准,真空微调阀的基本参数如下:

真空微调阀参数

真空微调阀包括高真空微调阀、卡套式微量调节阀、高精度微调阀等类型,由于调节精度高,所以在真空镀膜机、真空离子刻蚀设备等需要控制气体流量的设备中会经常采用到。它的轴封采用氟橡胶密封,阀体采用不锈钢焊接,漏率也很小。但其适用也有一定的条件,一个是工作气体介质不能含有颗粒灰尘,另外个不能是腐蚀性气体。

目前真空微调阀常见于航空航天、电子、石油天然气、核工、电站、船舶、冶金、重型机械、科研院所等行业。

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