在《真空系统中金属材料的出气来源》中，螺杆真空泵厂家介绍了真空系统中金属的出气主要来源于两个方面。接下来我们来了解下一般金属件的除气方法。

一般情况下，真空系统中的金属件及真空室壳体可以用真空烘烤来进行除气。在真空中可以更容易地去除金属表面的易挥发杂质、氧化物和清洗后残留的各种有机和无机污染物；另外真空环境下的扩散作用，也有利于去除金属体内的杂质原子，减少材料中的含气量。随着温度的升高，金属表面的解吸出气量和体内扩散出气量都将增大。所以通常会将金属材料加热到它能承受得住的最高温度下进行除气。

金属件在进行真空烘烤除气前，要先进行表面去油、去除表面的氧化物层以及其他污染物，然后再在真空内进行加热除气。真空烘烤除气通常在10^-2～10^-3Pa的压力下进行，同时烘烤的最高温度一般选为材料的退火温度，这样既保证零件具有良好的真空性能，还可以消除金属件加工过程中的内应力。但对于不同材料的金属件，烘烤温度、时间也会有所差异，像对于支架和弹簧等预应力零件，烘烤温度则需要低于退火温度；铝零件因熔点较低，烘烤温度不能超过500℃；对于厚壁或者直径达的零件，则应适当延长烘烤时间。

另外在实际中，对于真空工程中常用的不锈钢及铝或铝合金材料来说，真空烘烤除气和辉光放电除气的效果大致相同，但解吸物质的组分有所差别。真空烘烤除气的残余气体主要由二氧化碳、一氧化碳、水及氢组成，而辉光放电除气的残余气体主要是氢。

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