扩散泵抽气系统油蒸气返流的消除措施
信息来源:珂勒曦 时间:2020-10-15 08:00:00 浏览次数:-
扩散泵在应用中,油蒸气返流污染是主要的污染来源。今天螺杆真空泵厂家和大家一起聊聊扩散泵抽气系统消除油蒸气返流的几个措施。
具体措施包括:
一、加大扩散泵的启动功率来缩短机械泵与扩散泵切换时的压力过渡区。
二、通过改变系统操作工艺和用阀门来避开返流危险区(切换过渡区)。这点举例来说,比如如利用一个按照预定速度开启的高真空阀,逐渐地开启它,保证进入扩散泵的气体流量低于它的最大排气量,并且使机械泵的抽速保证扩散泵的前级压力,使扩散泵能顺利工作,这样就能避开过渡区的出现。
三、改善操作工艺,将扩散泵的加热功率调至最佳功率,避免出现泵油爆沸现象;一般扩散泵在加热开始和关闭过程中,返流将出现峰值,所以可以用泵口处的高真空阀来控制避免返流。
四、在扩撒泵入口处加装液氢冷阱或吸附阱来捕集返流油蒸气。
五、选用优质的扩散泵工作液。
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