涡轮分子泵使用过程中的5个注意事项
信息来源:珂勒曦 时间:2024-10-11 08:20:00 浏览次数:-
高真空系统中,涡轮分子泵可作为一种清洁的主泵使用。在使用过程有5个注意事项,和螺杆真空泵厂家一起来了解下。
首先是在真空室处于真空状态、前级管道畅通,前级泵工作时,不要去停止涡轮分子泵的运行,那样会使前级管路中的油蒸气等气体返流至真空室、分子泵内,造成污染。
其次,涡轮分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵的冷却水关闭,并且要从泵的高真开端充气,而不能从泵的前级管路进行充气。
第三,涡轮分子泵选择前级泵的大小时,要确保其前级能保持在分子流状态下。
第四,涡轮分子泵运转时不能低于其额定工作转速。
第五,涡轮分子泵的入口应设置防护网,防止异物进入泵内导致转子与叶片损毁。
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