罗茨真空泵中，除了湿式罗茨泵以及气冷罗茨泵，还有多级罗茨真空泵也可以直排大气而无需配置前级泵。因为日常中比较少见，所以很多人对它并无了解，就让无油真空泵厂家带您一起来简单了解下。

多级罗茨真空泵是干式罗茨真空泵中的一种，在美日等国家较多的应用与半导体及化工行业。它的“多级”是相对于传统的一个转子的“单级”罗茨真空泵而言，形式上多个转子串联，中间由中间壁隔离形成多个相对独立的泵腔，各级泵腔通过各级的进气口与排气口相连形成气流通道。各级转子的直径和形状是相同的，但是宽度有可能相同也可能不同。不同的话高压侧方会变窄。

多级罗茨真空泵的转子串联并不能提升泵本身的抽速，其理论抽速取决于第一级的抽速。但是它能达到很高的压缩比，被抽气体从第一级进气口进入泵腔，经过压缩后，进入下一级会继续被压缩，直至最后一级被排出，实现多级压缩，因此可以实现直排大气，而无需配置前级泵。3～6级的多级罗茨真空泵可以从大气压下抽到极限压力1Pa。

但是高压缩比在多级罗茨真空泵中同样会带来转子过热膨胀现象，为避免卡死，会在高压端对转子进行冷却。一般通过气冷，从各级的排气口排出的气体流，经冷却器冷却再返回到该级的工作腔中，利用冷却气体来冷却转子。这种冷却方式要以牺牲抽速为代价。

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