油扩散泵是获得超高真空过程中常用的真空泵种类。不过在使用中要获得尽量高的真空，还是有一定的要求的。今天，螺杆真空泵厂家与大家一起来认识下油扩散泵在获得超高真空中需要做到的几点。

首先是关于扩散泵油的。扩散泵油对油扩散泵的极限压力影响很大。使用普通扩散泵油的情况下，油扩散泵的极限真空可能在10^-5Pa，而改用275硅油，它的极限压力就能达到10^-7Pa。而且被抽气体的分压力也会随着泵油的不同而变化。为此用油扩散泵要想获得尽量高的真空度，性能好的扩散泵油必不可少。选择过程中，泵油的相对分子量要尽量大，常温下的蒸气压要低，另外热稳定性与抗氧化性要好，凝固点、低温年度也要低，且要无毒耐腐蚀。特殊的要求不含碳氢化合物的真空系统，可以采用氟油。

其次就是烘烤。烘烤也是油扩散泵获得超高真空过程中的必要手段。因为泵的材料在大气下肯定会吸收吸附一些气体，而在真空中，这些气体便会被解吸，缓慢释放出来。因此，为了减少材料的出气率，就需要通过烘烤让这些气体在使用中提前解吸出来。不同的材料，烘烤时间与温度也会不同。

第三是防止泵油返流与迁移。这两个，泵油通过入口流到被抽容器的叫返流，而油分子通过器壁移动进入被抽容器的叫反迁移。要防止泵油的返流与迁移需要通过增加冷阱装置来实现。关于冷阱，螺杆真空泵厂家早《真空系统中的冷阱》提到过一些。一般在油扩散泵中，常用液氮冷阱安装与泵入口与真空室之间，可以有效捕集油扩散泵运行中产生的返流蒸气、部分裂解物以及来自真空室的蒸气。烘烤后的油扩散泵系统，配合冷阱可以获得10^-8Pa～10^-10Pa甚至更高的超高真空。

第四就是要减少被抽气体的反扩散。被抽气体反扩散也是限制油扩散泵获得超高真空的因素之一。气体反扩散与分子质量有关，质量越小，越容易反扩散。因此油扩散泵抽氢时容易出现反扩散。要减少这种现象，一个是在油扩散泵的进气管路上安装液氮冷却的钛升华阱来捕集反扩散的氢，另外就是串联两个扩散泵来降低扩散泵出口的排气压力。

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