今天螺杆真空泵厂家和大家一起来了解下油扩散泵真空系统操作的几个主要步骤。

油扩散泵真空系统作为常见的高真空系统，操作步骤比粗低真空系统要复杂不少，大致如下：

一、油扩散泵真空系统启动时，首先要接通扩散泵的冷却水；调整水温继电器的温度设定值，然后准备开启机械泵进行粗抽；如果此时扩散泵已经处于真空状态，则可以开始加热扩散泵。

二、启动机械泵前，需要按照例常规范检查，如泵的油位、高真空阀及前级阀是否关闭。无误后，打开粗抽阀。如果是采用多步粗抽程序的大型真空室，可能会通过旁路对真空室进行粗抽，待压力降至一定程度后再打开主粗抽阀门。

三、当真空室内的真空压力降到100Pa之后，可打开前级管道阀门，并给油扩散泵加热（第一步中没有进入加热过程的话）。

四、真空系统粗抽到15~20Pa后，关闭粗抽阀，等油扩散泵正常工作后（油蒸气射流正常喷射），打开高真空阀进行抽气。

五、如果油扩散泵工作一段事件后，真空室的真空度如果没有提高，则很可能是真空系统漏率太大，应当检查系统漏率。

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