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影响热阴极电离真空计测量上限的因素有哪些

信息来源:珂勒曦 时间:2021-08-02 08:00:00 浏览次数:-

在介绍电离真空计的时候,螺杆真空泵厂家介绍了普通热阴极电离真空计的测量上限一般都在10-1Pa左右,那是什么因素限制了它的测量上限呢?

热阴极电离真空计

普通热阴极电离真空计的测量范围在10-1~10-5Pa之间,限制它测量上限的因素主要涉及两个方面:

第一个因素和热阴极电离真空计的阴极有关。一般热阴极电离真空计的阴极较多采用钨丝,其在高于10-1Pa的压力下会很容易氧化,使真空计的寿命大大缩短,甚至烧毁。采用抗氧化的阴极,如纯钇丝表面涂氧化钇,可以在更高压力下工作,但一方面加工困难,同时也不宜在油蒸气环境下工作。

第二个方面是,在高于10-1Pa的压力下,离子流与压力的关系曲线开始偏离线性。热阴极电离真空计是利用收集极收集正离子,根据离子流的大小来指示气体压力的大小。只有在一定范围内,离子流才与发射电流及气体压力呈线性关系。一般当压力上升到10-1Pa时,电离过程中的二次电子不断增多,电极间的离子增多,形成空间电荷场,使电子的运动轨迹发生变化,就会使离子流趋于“饱和”,使其与压力的线性关系发生偏离。不过真空计的规管系数(即灵敏度)越低,相应的测量上限就会越高。因此一些热阴极电离真空计依此改进,可以将测量上限提高到70~130Pa,但测量下限会受到影响,同时也可能存在换档时压力读数不衔接的问题。

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