真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量必不可少的基础产品，不过在真空泵产品的高端领域.，国产品牌真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容，几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。

1、干式真空泵市场

国外干式真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干式真空泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干式真空泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干式真空泵，使干式真空泵成为我国真空工业新的经济增长点。

干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、医药、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

2、水环式真空泵市场

水环式真空泵行业在国内和国际市场上发展形势都十分看好，我国这几年的水环式真空泵发展态势十分好，专家预测，到2020年，中国的水环式真空泵进口额将达到惊人的50亿美元，超过美国的49亿美元成为世界上最大的水环式真空泵进口国。届时将排在水环式真空泵进口额3到6位的分别是：日本、印度、德国和法国。

浙江珂勒曦螺杆真空泵 

3、螺杆式真空泵市场

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大，真空获得产品已经出现更新换代的局面，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手。当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高，安全性也是需要设计中考虑的。用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。

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