真空规管在使用中存在放气因素会影响真空测量的准确度。同时部分还存在抽气作用，同样会影响到真空度的测量。干式螺杆真空泵厂家在这里接着上次的尾巴，继续分享会对真空测量造成影响的规管抽气效应。

无论是放气还是抽气，这两个现象在真空测量中影响较为严重的主要出现在电离真空计中，其他真空规管可能也有出现，但大多可以忽略不计。

第一种电清除抽气。当电子碰撞气体分子使其电离并产生离子，获得能量的离子打到规管壁上或被收集极接收。随后这些离子或被束缚在其表面或被埋入表层内而被清除，这就是电清除。电清除束缚得最牢的离子要经过300℃的高温烘烤才有可能再释放，如果真空规管内壁存在溅射的金属膜，则对氦气有强烈的抽气作用。它的抽气速率与电子流、各电极电位、有无磁场、规管壁温度等因素有关。如冷磁控规，因有磁场存在，电离效率高，所以电清除抽气的抽速大；电子流越大，离子流也会增大，电清除的抽速也越大。冷阴极电离真空计比热阴极电离真空计有更大的电清除作用，连接管路流导较小时，规管内的真空度与被测真空系统内的真空度可相差一个数量级。

第二种是化学清除抽气。化学清除抽气现象的形成分3种：首先是化学活性气体（如氢气、氮气、二氧化碳、一氧化碳）在固体表面的化学吸附效应，当表面形成吸附层，化学吸附效应就会趋于饱和；其次是高温钨丝氧化，氧与钨高温下生成三氧化钨，三氧化钨蒸发沉积在规管壁上会形成黑色膜，热阴极温度越高，效应越大；最后是气体在高温钨丝表面的热分解，如氢分子与氧分子会分解成氢原子与氧原子，然后被吸附在管壁上，这种效应也有饱和现象。

根据冷阴极电离真空计的抽气作用，人们在1958年发明了溅射离子泵，由于冷阴极电离真空计由潘宁首先提出，简称潘宁规，因此溅射离子泵也被叫做潘宁泵。

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