真空检漏仪器中，有一种是利用含有卤素（氟、氯、溴、碘）的气体作为示漏气体的检漏仪器，称之为卤素检漏仪，今天螺杆真空泵厂家要介绍的就是它。

卤素检漏仪是基于卤素效应制作而成。什么是卤素效应呢？当金属铂被加热至800℃以上时，在其表面上吸附或入射表面的气体分子会被剥夺电子，以正离子的形态飞离表面，形成正离子发射；发射的正离子流大小取决于加热温度以及遇到的气体种类；当正离子流遇到卤族元素的气体后，正离子流会急剧增大，这就是卤素效应。

卤素检漏仪的应用原理通俗地说，就是在检漏管中的发射极与收集级之间施加电压，发射体被加热（一般加热到800～900℃，防止“过敏”现象）形成正离子发射，此时存在一个发射本底值；当被测系统存在漏孔，示漏卤素气体经过漏孔进入检漏管，即会产生卤素效应，正离子流剧增，并通过指示器发出提示。由此确定漏孔位置、大小等。

卤素检漏仪分固定式和移动式。前者由喷枪、检漏管、测量线路组成，后者将检漏管、风扇等结合组成探枪再加测量线路构成，便于携带。两者在实际应用中，采取的检漏方法也有所不同。

固定式采用真空法，将检漏管置于被检系统中，对系统抽真空；随后用喷枪在被检系统可疑处喷吹；如有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入被检系统以及真空检漏仪器的检漏管中，引起卤素效应。

移动式采用加压法，将示漏气体压入被检系统，压力高于大气压；随后用探枪在被检系统外可疑处移动；如有漏孔，示漏气体逸出被探枪吸入检漏管内，就会引发卤素效应。

卤素检漏仪一般适用的压力范围在10～10^-1Pa，最小可检漏率为10^-7～10^-9Pa·m³/s。常用的示漏气体有有氟利昂（被限制使用）、氯仿、四氯化碳、三氯乙烯等。

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