真空系统及真空设备组成较多，但真空技术笼统地说就是解决气源与抽气问题，从而实现各种应用。它涉及气源与器壁、空间的一些列过程变化。因此真空技术在应用前需要研究以下几个方面的内容。

一、稀薄气体分子运动理论

稀薄气体分子运动理论主要研究空间气体分子之间碰撞、气体分子与器壁之间碰撞时的运动规律。它包括气体处于平衡态时（即宏观量如压力、温度、密度等处处一致时）的物理特性、规律；也包括宏观量在空间分布不均匀的非平衡态时，出现的气体迁移现象。同时还包括超出理想气体假设、超出经典统计规律之外更复杂的某些实际问题。

二、真空中的气体流动

真空中的气体流动理论包括各种稀薄气体流态研究，不同几何形状的容器或管道对气体流动的阻力研究。关于真空中的气体流态，大家可以参见下方的推荐文章。

三、真空中的热力学问题

真空中各种气相与凝聚相之间的相变和化学变化过程，如蒸发和凝结、分解、表面热化学反应、吸气和出气等，研究它们达到平衡时的状态及过程进行的速率，在真空技术中有着重要的实际意义。

四、吸附脱附及溶解、渗透扩散

这部分主要涉及固体及固体表面与气体分之间的相互作用，具体可参见《气体在固体中的溶解与渗透现象》 、《真空应用中的吸附现象》等内容。

五、真空中的电现象

真空中的电现象主要包括电子发射以及气体放电。它们的实际应用相当广泛，如电子枪、显示器件、真空镀膜技术、离子注入刻蚀、离子清洗等，都是对真空电现象的实际应用。

以上5个方面是真空技术应用在物理方面上会涉及研究的主要几个方面，当然在化工等应用上，会涉及更多的化学学科内容。

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