弹性变形真空计是利用弹性元件在压力差的作用下产生弹性变形的原理而制成的一种直接测量真空计，也是真空系统中一种较为理想的真空计。要知道为什么的话，就随螺杆真空泵厂家一起来了解下更多的关于弹性变形真空计的知识。

弹性变形真空计作为一种直接测量的真空计，它的灵敏度与气体种类无关，吸气放气小，因此对被测的真空系统干扰很少，可测量各类腐蚀性气体和可凝性蒸气。按照弹性变形量的测量方式的不同，弹性变形真空计可分为机械传动式弹性变形真空计和电量测量式弹性变形真空计；同时也可以按弹性元件结构的不同，分为弹簧管式、膜盒式和膜片式。螺杆真空泵厂家珂勒曦主要按照前一种分类来作一下介绍。

两者都是通过弹性元件在压力差作用下产生的弹性变形来表示真空压力，机械传动式弹性变形真空计是通过机械传送来驱动显示仪表的。一般以磷青铜、黄铜、薄壁不锈钢等为弹性元件材料，以针表盘形式来显示真空度大小，因此被称作为指针式真空表。这种真空表大多按热工压力仪表的习惯来标注刻度盘，将大气压力设为0值，最高真空状态设为-0.1MPa，也就是其读数显示的是被测压力低于环境大气压力的差值。

机械传动式弹性变形真空计按照第二类分类方式的话，它同时包含弹簧管式、膜盒式和膜片式三类。

电量测量式弹性变形真空计按第二类分类，属于膜片式真空计。其电测量方式可以实现连续远距离测量，灵敏度高，变形量与电信号间的变送方式有电感式、压电式、电阻应变式和电容式。其中电容式应用较为广泛，称之为电容式薄膜真空计。

电容式薄膜真空计是一种全压计，测量结果为气体与蒸气的全压强，与气体成分无关，具有精确度高、反应速度快、温度影响小、测量范围宽等特点，与机械式10Pa左右的压力下限相比，电容式薄膜真空计的测量下限可达10^-3～10^-2Pa，可作为标准真空计使用，也非常适合用于氧、水蒸气、油蒸气等气体压力的测量。（螺杆真空泵厂家珂勒曦归结整理，如需转载请注明来源：www.kelexi.cn）

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