真空系统中高真空抽气是指0.5～10^-5Pa范围内的抽气。这个时候真空泵设备抽气的气体负荷与粗低真空下的不同，具体包括哪些呢，和螺杆真空泵厂家一起来看下。

高真空应用中，经过前级机械真空泵的预抽，进入到高真空抽气范围内时，真空室中原本的空间气体已经大大减少，这个时候另外几种气源就会成为真空泵主要的抽气负荷：

一、微漏，即大气通过微隙漏入真空容器的气体流量。当微隙一定时，微漏就是一个常量。

二、渗透，即大气通过真空容器的器壁结构材料扩散到容器中的气体流量。

三、蒸气，即空气中的水分或工艺中的液体在真空中蒸发出来。在高真空抽气状态下，特别是在高温装置中，固体和液体都有一定的饱和蒸气压。当温度一定时，材料的饱和蒸气压也是一定的，因而这个部分的蒸气流量也是个常量。

四、表面解吸，即材料吸附和吸收的气体通过暴露在真空中的表面释放出来的气体。如果过是容器壁的内表放出的气流量，那么除了表面解吸的气流量，还包含渗透的气流量。因此表面解吸和渗透可以统称为表面放气或表面出气，简称放气。

在实际的真空应用中，在高真空抽气阶段往往可以忽略空间气体负荷对抽气的影响，因此真空泵或机组对真空室的排气量仅与放气和漏气处于动态平衡状态。

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