氢-钯法是利用金属钯对特定气体的渗透特性来进行真空检漏。此前的真空系统检漏方法介绍中，螺杆真空泵厂家还没有介绍过氢-钯法，这次我们就一起来简单了解下这个氢-钯法。

关于金属钯，螺杆真空泵厂家在《真空系统常用金属之贵重金属》中介绍过，其对氢气有很高的溶解度，渗透率也特别高，因此会经被常用于氢-钯法检漏中（H-Pd法检漏）。简单的检漏原理如下：

通过一个带有钯管或者钯片的已抽成高真空的且密封的电离规管，在钯管外面设置一个加热器可以对钯管或者钯片进行加热；将被检件与上面提到的电离规管一起接到真空系统上，在系统压力为10^-1Pa～10^-3Pa时，系统与真空泵隔离，开始加热钯管或者钯片；当把钯管或钯片加热到700℃～800℃时，由于氢对钯的渗透性很强，所以氢气可以通过钯而其他气体不能通过；然后用氢气喷吹被检件的可疑部位，如果有漏孔，氢气就会通过漏孔进入到系统并经钯管进入电离规管内，此时，电离读数便会升高，指示漏孔所在；停止检漏时，就使系统与泵接通，电离管内的氢气又通过钯管进入系统被抽走。

氢-钯法的最大工作压力为4Pa，下限没有限制。它最大的优点是灵敏度与压力无关，一般可达10^-4Pa·L/s～10^-8Pa·L/s。另外如果钯的表面出现污染，在空气中加热就可以得到净化。

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