在真空应用中，不少工业领域，如化工、电子半导体工业等，真空系统会抽除大量的有化学活性、腐蚀性、磨蚀性的气体。这些介质气体的存在会要求真空泵等设备在运行中有更高的可靠性。那这类危险气体典型的都有哪些，螺杆真空泵厂家带大家来认识下。

氧气（O₂），易燃，促进爆炸。

氢气（H₂），在空气、氧、氯等气体中易燃易爆。

氨气（NH₃），无色有强烈的刺激气味，不易燃，有毒，可灼伤人体皮肤、眼睛、呼吸器官粘膜，吸入过多会引起肺肿胀以至死亡。

氯化铵（_NH4Cl），易结块，水溶液呈弱酸性，加热时酸性增强，对黑色金属其它金属有腐蚀性，对铜腐蚀更大，同时还具有磨蚀性，可产生重粒子污染。

砷化氢（AsH₃），无色剧毒可燃，半导体工业中广泛使用。

三氯化硼（BCl₃），无色发烟有刺激性酸味，对人与环境有害，对真空泵以及油封泵的泵油具有腐蚀性。

三氟化硼（BF₃），无色有毒腐蚀性气体，对真空泵及油封泵的泵油具有高腐蚀性。

四氯化碳（CCl₄），也就是R14，不燃，有毒，可产生烃油聚合物，会对真空泵油产生污染。

四氟化碳（CF₄），一种卤代烃，无色无味不燃，但在等离子环境中能形成HF。

氯气（Cl₂），有毒并具有强烈的刺激味，能产生烃油聚合物，与氢混合可发生爆炸。

二氯甲硅烷（SiH₂Cl₂），无色、易燃和有毒，遇水能生成盐酸。

氯化氢（HCl），水溶液就是盐酸，无色有窒息性的气味，不易燃，具有腐蚀性。

氟化氢（HF），无色有刺激性气味，具有很强的腐蚀性。液态的HF是酸性非常强，可质子化硫酸与硝酸，极易挥发遇水激烈放热形成氢氟酸，操作时需特别注意。

二氧化氮（NO₂），黄褐色液体或棕红色气体，具有强烈毒性，与水反应生成硝酸和一氧化氮。

氧化二氮（N₂O），也就是俗称的“笑气”，无色有甜味气体，是一种氧化剂，可助燃。

磷化氢（PH₃），无色、剧毒、易燃，微溶于水并呈弱碱性。

硅烷（SiH₄），一种提供硅组分的气体源，易在空气中燃烧。

二氧化硅（SiO₂），主要是有很强的磨蚀性。

四氮化硅（SiN₄），可产生微粒污染。

四氯化硅（SiCl₄），无色透明液体，纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色，有窒息性气味，在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢，在等离子体中可产生氯化物。

四氟化硅（SiF₄），无色、有毒、有刺激性臭味的气体，在空气中可分解形成氧化硅。

三氯氟化甲烷（CCl₃F），即R13，无色液体或气体，有醚味，对水体及大气产生破坏，可产生烃油聚合物。

这些气体或反应生成物，在真空系统中当达到一定浓度是都是危险的，因此在处理与抽除时都需要特别小心。

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