真空应用中，钛泵是一种无污染的超高真空泵。也有人会将其他一些含钛金属材质的泵称为钛泵。实际上它们指的是不一样的。今天螺杆真空泵厂家与大家一起看下真空应用中的钛泵是怎么回事。

螺杆真空泵厂家在介绍一些常用的金属时，已经提到过许多性质活泼的金属具有很强的吸气能力，因此会被用于真空吸气应用。这其中钛就属于一种吸气能力强，且在室温下稳定易蒸发、安全、易于加工成型的活泼金属。

在具体应用的钛泵中，螺杆真空泵厂家以前介绍过的溅射离子泵就是属于钛泵中的一种。溅射离子泵的极限真空很高（10^-8～10^-10Pa），操作方便，不易出故障，但钛淀积率小，抽速相比之下也较小，真空度高时抽速下降严重。除此外钛泵还包括蒸发钛泵、升华钛泵以及轨旋式钛泵。

蒸发钛泵蒸发量可以做到很大，抽速可达百万升每秒，极限真空10^-6～10^-9Pa。升华钛泵的抽速同样很大，对氮的抽速可达10.1L/（cm²·s），对氢的抽速可达19.9L/（cm²·s），极限真空可达10^-10Pa。但这两种钛泵对惰性气体抽速很小，需要搭配其他类型的泵，同时需要定期更换蒸发泵芯或钛升华器，操作维护困难。

轨旋式钛泵也就是电离升华泵，或叫轨旋式离子泵。它兼具升华钛泵与溅射离子泵的特点，可抽除惰性与活性气体，工作于10^-2～10^-9Pa区间，在超高真空区域可保持恒定抽速。但由于电离抽气与钛损耗间有矛盾，不宜做成大泵。

这些钛泵的抽气机理目前基本上都认为是基于3点：首先是活性气体分子被新鲜钛膜吸附形成化合物，随后被不断蒸发溅射形成的新钛膜所覆盖，新钛膜又开始吸附气体，如此循环形成稳定抽气；其次非活性气体则是被电离后，在电场力的作用下被打在钛膜上，随后被新蒸发的钛膜掩埋。能量大的离子则可以直接打入钛膜内被清除掉。因此没有电离作用的蒸发钛泵对惰性气体几乎没有抽气作用；最后活性气体分子离子化后，激发为亚稳态或解离为单个粒子增加化学活性，会使泵的抽速增加。

因为可以实现无污染的超高真空泵，因此钛泵广泛应用于可控热核反应装置、加速器装置、空间环境模拟、半导体元件的镀膜技术、电真空工业等。

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