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怎么用静态升压法获得真空室的总漏率?

信息来源:珂勒曦 时间:2024-04-26 08:00:00 浏览次数:-

如果要知道自己真空室或者真空容器漏不漏,漏率有多大,静态升压法是其中的一种方法。和螺杆真空泵厂家一起来看看具体该如何操作。

抽真空

采用静态升压法测真空室的总漏率,在前期准备好后,首先启动真空系统对真空系统进行预抽;当真空压力达到主泵的启动压力时,启动主泵继续抽气;为减少其他影响因素,在抽真空的同时,需要配合一些除气工艺(烘烤、氮气冲洗等),对真空室进行12小时以上的除气,并监测真空室中的压力变化;当经过连续24小时以上的抽气,真空室中的真空度不再变化以后,就可以关闭主泵,记录当时的真空度(P1)并开始计时;经过一段时间(t)之后再次记录真空压力值(P2);随后可以通过以下公式进行总漏率计算:

Q=(P2-P1)*V/t

其中:压力单位为Pa;V为真空室容积,m3;t为升压时间,秒。

最后得出的就是真空室对应的总漏率,单位为Pa·m3/s。

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