常规意义上，进入100Pa以下到0.1Pa左右真空度的真空应用都属于中真空应用。这个阶段的真空应用一般都会采用真空机组来实现真空的获得。今天螺杆真空泵厂家和大家一起来看看常见的中真空系统都有哪些形式。

首先是油增压泵串联机械泵组成的中真空系统。油增压泵也就是油扩散喷射真空泵，工作区间在10～10^-2Pa，可以作为主泵使用，也可以用于大型油扩散泵与前级机械泵之间。其和机械泵组成的中真空系统结构简单，抽气能力大，但预抽时间会比罗茨泵系统长。

第二个就是罗茨泵串联机械真空泵组成的中真空系统。这种形式在螺杆真空泵厂家的应用组合中也最为常见，在10³～1Pa的压力区间都有着较大抽速，启动快，预抽时间短，但工作噪音相对也较大。

第三是罗茨真空泵串联小型罗茨泵再串联机械泵。这种形式基本上是第二种形式的升级，加宽了工作压力范围，工作区间10³Pa～10^-1Pa，同时有着更佳的压缩比。

第四是罗茨泵串联水环泵。这种真空系统形式也可以算是第二种中的一种具体形式。只不过因为水环泵的关系，这种真空系统适用于灰尘、水蒸气较多的应用中。

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