在高真空应用中，残余气体的存在可能会影响真空系统内部的表面污染，影响真空工艺的进行。今天螺杆真空泵厂家与大家聊聊残余气体在真空系统中可能会产生的一些反应。

在真空系统和器件中，有多种因素可能引起残余气体之间发生反应与相互转化：

首先，残余气体中的某些活性气体分子在热表面上离解成原子态。原子态的气体化学活性较高，它们可能与电极材料及其杂质、污染物直接发生反应，也可能由于表面催化作用而与其他气体发生反应。

其次，气体分子由于电子碰撞而电离形成离子态。离子、电子在电场驱使下与各种表面（电极、管壳、器壁、吸气剂等）相互作用并可能产生下述效应：俄歇电子或二次电子发射；气体分子以离子、亚稳态粒子或中性粒子形式从表面反射；离子注入并被捕集于表面；被捕集的粒子自发再释放或受热再释放；表面溅射；电子或离子诱导脱附甚至溶解。

第三是气体在各种材料表面，尤其是电极表面，吸附并发生金属的表面催化作用。

第四，气体在吸气剂表面上的吸附和发生化学反应。

第五，真空系统中零部件的热出气、冷吸气、热蒸发、热分解；光子、电子轰击使表面化合物和沉积的杂质分解及吸附分子离解等。

上面这些反应作用都可以直接或间接的改变残余气体成分，有的造成物质迁移，其结果符合化学平衡的基本规律。

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