低温泵抽气系统是获得洁净真空环境的一种有效方法之一。今天大家和螺杆真空泵厂家一起了解下低温泵抽气系统操作中的一些注意事项。

一、低温泵抽气系统中，有时为了减少表面出气，需要对工作室壁用液氮冷却，这时如使用电离规在解释电离规读数时就应注意。即使室壁不冷却，真空规在低温系统内的位置很重要，特别是是否直接对着泵。

二、烘烤低温泵抽气系统时要注意，低温泵怕热辐射，当系统烘烤到450℃时，可能导致泵温度升高超过工作范围。此时可以在泵与系统之间插入水冷挡板作为热辐射屏蔽，但这会严重减小系统抽速。如果将挡板制成类似于蝶阀的结构，可以减少抽速损失，即烘烤时旋转到屏蔽位置，结束后旋转回去。

三、低温泵抽气系统操作时，要确保在工作过程中低温泵的热载荷不超过额定指标，尤其要注意泵第一级吸附板上的热载荷大小。

四、低温泵在连续运转中，尤其是在吸附剂被氦饱和时，应特别注意防止瞬时断电，因为即使是短时间停电，氦气也会从吸附剂中释放出来，而且会把真空器壁上的大量热量传到抽气表面上去，即使是20Pa的真空度也无法阻止连续的热传导。一旦发生断电，即需要停止工作进行再生。

五、操作中应经常检查低温泵的过压安全阀是否正常，以防止安全阀失灵，对操作者和泵造成伤害。

六、不能用低温泵抽除有毒、易爆以及容易产生化学反应的危险气体。因为低温表面会冷凝各种蒸气，累积大量沉积物，升温过程中，一些沉积物可能相互反应或与大气发生反应，如硅烷与水蒸气。

七、低温泵抽气系统中，低温泵对各种气体的抽气能力是有不一样的，如抽氢和氦就比其他气体要差得多，因此在系统的组成和操作时要考虑到。

八、低温泵抽气系统中的压缩机要充以高纯氦（99.999%），像是氦中最常见的杂质氖会凝聚在低温极上并导致密封件磨损。

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