电子碰撞脱附是吸附分子脱附的形式之一，电子轰击除气的利用的主要就是电子碰撞脱附效应。这次螺杆真空泵厂家就与大家一起来认识下电子碰撞脱附的几个特点。

电子碰撞脱附主要依靠电子碰撞使吸附分子被激发或离解而产生脱附，它的第一个特点就是脱附的发生与吸附分子的种类有关。像O₂、CO、H₂、CO₂、Cl₂、H₂O以及扩散泵硅油分子等在金属表面，由于吸附配组的脱附截面较大，就容易出现电子碰撞脱附效应，放出H₂、CH₄和一些碳氢化合物碎片。如果是金属表面吸附的N₂、CH₄，脱附截面小，就几乎不存在电子碰撞脱附。

第二个特点是中性分子的脱附和离子脱附都存在着入射电子的能量阈值（一般为5～20eV），这个阈值高于相应的气相分子的电离电位。中性分子脱附的电子能量阈值通常要低一些。

第三个特点电子碰撞脱附受表面状态的影响。如电子碰撞脱附中，在原子级清洁表面上的脱附小的可以忽略，一般的气体吸附表面主要是脱附和离解作用，氧化表面的脱附主要是分解作用。

第四，电子碰撞脱附截面的大小取决于吸附分子的束缚态，不同吸附分子的束缚能不同，弱束缚态的容易脱附，而强束缚态的就比较难脱附。同时，电子碰撞脱附截面与入射电子的能量有关，随之变化，但一般都是远小于相应的气相分子的电离截面，脱附的能量阈值也比相应的气相分子电离能大。

第五，电子碰撞脱附的形态中，离子脱附截面比气相分子电离截面小，但电子碰撞脱附产生的正离子具有可观的动能，而且自表面脱附的例子的能量要比气相电离的例子大得多。

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