电子束轰击除气是真空系统材料除气的一种基本方法，螺杆真空泵厂家在《真空系统中材料除气的几种方法》里作了简单介绍。那么除气过程中具体会发生哪些现象呢，我们再具体来了解一下。

此前介绍中螺杆真空泵厂家就提到电子束轰击除气对氧化膜的破坏非常迅速，因此在电子束轰击除气过程中会发生的一个现象就是材料表面化合物的离解。固体材料表面的化合物主要就是氧化物。由于它们的分解能阈较低，因此在电子轰击下很容易离解，离解时会释放大量的气体离子或分子。

接下来是分子的聚合。被电子轰击后激活和电离的分子及其“碎片”可能来不及蒸发而彼此作用形成聚合分子，并牢固附着在固体表面。这种现象对电真空器件来说是有害的。不过利用这种现象，可以在高真空或真超高真空系统中制作“离子阱”，利用磁控放电产生离子将沉积在阱壁上的油分子轰击成碎片，进而形成聚合物附着在阱内壁成为固态聚合膜，防止进入无油高真空侧。

二次电子发射。电子轰击固体表面时肯定会产生一定数量的二次电子，其多少取决于一次电子能量和固体的二次发射系数。螺杆真空泵厂家在《珂勒曦小课堂：电子发射的几种形式》也介绍过什么是二次电子发射。在除气应用中，二次电子发射对电真空器件中的绝缘材料也是有害的，尤其是高电压器件中。

热效应。当电子穿入固体后，与固体中的电子多次碰撞释放出能量，就会使固体温度上升，而且发热部位不再表面而在物体内的某一深度处。这种能量交换及转换的效率与电子速度以及固体元素的原子序数有关。

固体原子的蒸发。当电子轰击的能量超过一定程度，就可能引起固体原子蒸发，不过这需要在高压电场下，因此一般真空器件的电子轰击除气不会出现这个现象。

X射线辐射。除气过程中，被外来电子激发的电子或电子群返回原始正常能态时，常以光量子形式辐射出多余能量，其振荡频率一般位于X光谱区。因此电子流能量有一半会转变为X射线。这种X射线在高电压的真空器件中会产生除气作用。

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