干式真空泵很早就出现了，但没有明确的定义。就代替油封式机械泵来说，一般通用的说法是：能在大气压到10-2Pa 的压力范围内工作；在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和液体、排气口与大气相通，能连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。

 现在市场上提供的干式泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即：

① 容积式的干式真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的极限压力一般为0.1～10Pa, 抽速为0.01～0.04m3/s。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵，可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa, 抽速为0.02～0.15m3/s。牵引型干式泵也属于动量传输式的干式泵。

干式真空泵 

这些干式泵和油封式机械泵相比，达到同样的极限压力，其残余气体成分则全然不同,经分析结果明，油封泵的残余气体，CnHm气体(碳氢化合物气体)为其主要成分，而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式泵的抽气不再有油的污染了。

有些干式泵在结构设计上，如泵的传动齿轮和轴承等仍在使用润滑油，也有用合成油，如PFPE油和其他油脂等，并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔内不存在，严格来说不是全无油的泵，但经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，并无影响。

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