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氦质谱检漏的具体方法——喷吹法

信息来源:珂勒曦 时间:2019-05-14 08:04:00 浏览次数:-

氦质谱检漏的具体方法有很多,螺杆真空泵厂家在介绍氦质谱检漏仪的时候就列举过。现在我们再一一认识下其中几种较为常用的具体方法。今天先来认识下喷吹法。

喷吹法是一种判定漏孔位置很方便适用的真空检漏法。

氦质谱检漏喷吹法

如图,检漏时先对被检容器预抽真空,并调整检漏仪使其处于正常的工作状态,然后开检漏仪的节流阀,连通被检容器与检漏仪,调整检漏仪处在待检漏状态。随后以一定的速度移动喷枪,通过喷嘴将具有一定压力的氦气喷向被检件怀疑可能的漏孔处。如果被检件存在漏孔,当喷吹的时间足够长时,氦气将通过漏孔进入被检容器,再进入检漏仪的质谱室产生讯号,检漏仪将会指示出是否存在漏孔及漏孔的漏率。

整个过程中需要注意,检漏仪检漏时有一定的响应时间,因此,当检漏仪指示有漏孔时,漏孔不一定正好在喷枪喷嘴所正对的位置。所以应在在发现有泄漏的范围内,减小喷枪的移动速度,减小喷嘴与被检容器的表面距离,反复查找。当喷嘴正好对准漏孔,而喷枪不移动时,检漏仪指示的漏率可能等于或接近于漏孔的实际漏率。

喷吹法的检漏灵敏度与漏孔的形状、喷嘴相对漏孔的夹角与距离、喷枪相当漏孔的移动速度、喷嘴的形状与尺寸、喷射气体的压力、被检容器周围环境大气压中氦气浓度大小及稳定情况等因素都有关系,而且影响程度很难定量确定。

为此,在进行喷吹法检漏时,检出的漏孔需要进行复查,如果存在两个相距很近的可疑漏孔,要注意调整喷枪喷出的氦气流方向(或盖住一个漏孔点),然后进行检漏,检漏场地要有良好的通风条件,但不能影响喷枪喷出的氦气流动方向。另外因为氦气轻,检漏时需要从被检件的上方开始检漏,逐渐向被检件下方移动喷枪;由靠近检漏仪处检漏逐渐移至远处;先用大气流粗检找出漏孔所在区域,再用小气流精检找出漏孔的确切位置。

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