氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体的真空检漏仪器。因为性能好、灵敏度高，因此它在真空以及其他相关行业中使用最为广泛。这也是干式螺杆真空泵厂家介绍的最后一种常用真空检漏仪器。

氦质谱检漏仪的基本原理是采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，利用磁偏转分离原理将其区分开来。仪器只对示漏气体氦气有相应信号，而对其他气体没有反应，属于唯一性检漏仪器。检漏过程中，一旦出现信号，就说明有氦气通过漏孔进入被检件，从而指示出漏孔的位置与大小。而之所以选择氦气作为示漏气体，主要是因为氦质量轻，易于穿过漏孔，扩散快，对分析设备制造的要求相对简单；同时氦气在空气中含量少，本底压力小，又为惰性气体，不易发生反应等等，都为提高仪器灵敏度创造了条件。

氦质谱检漏仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器，结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性，具体的结构原理，珂勒曦小编就不在此班门弄斧了。而在结构组成上，大部分氦质谱检漏仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的：质谱室是这种真空检漏仪器的心脏，又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分；真空系统用于为质谱室提供真空工作条件，保证氦离子的传输率；电气系统的核心功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下，氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统，完成一些预抽、保证检漏仪真空度等工作。

氦质谱检漏仪有漏率灵敏度参数，它是仪器在出厂时经过校准的在最佳条件下所能实现的仪器灵敏度，但平常实际使用时其灵敏度是低于该参数的，称之为检漏灵敏度。然后在具体检漏过程中，氦质谱检漏仪的检漏方法也较多，有喷吹法、氦罩法、检漏盒法、充压法、吸嘴法、累积检漏法、背压法、选择性抽气法、逆流氦检漏法等众多形式，可结合实际情况灵活运用。如最简单常用的喷吹法，与卤素检漏仪的真空法类似，将被检件抽真空，调整好检漏仪并与被检件连通，随后用喷枪在可疑处喷吹氦气，如果存在漏洞，喷吹一定时间后，检漏仪即可发出信号。细节的操作方法、注意事项以及其他的仪器使用方法，干式螺杆真空泵厂家就不在这里介绍了。

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