螺杆真空泵厂家前面介绍的几种氦质谱检漏方法，都是在被检件外部施加一定压力的氦气，而其内部处于真空状态下。接下来我们介绍一种做法相反的氦质谱检漏方法——吸入法。

吸入法也叫吸枪法。吸枪与氦质谱检漏仪相连，当被检件被抽空后充入氦气（高于大气压力），再利用吸枪的吸嘴在被检件外表面的可疑漏隙处以一定的速度移动逐点吮吸。如果有漏孔，内部氦气经由漏孔泄漏与周围空气一起被吸枪一起被抽入吸嘴，随之进入氦质谱检漏仪的质谱室，从而产生漏气的输出指示。如果将充满氦气的被检件置于气罩或者真空室内，吸入法还可以演变为气室法与加压真空法。

吸入法与喷吹法类似，实际检漏灵敏度远低于极限灵敏度，因此一般多用于定性检漏。其检漏灵敏度的影响因素也与喷吹法类似，主要包括了充入的氦气压力、漏孔的形状大小、吸嘴的形状、吸嘴与漏孔的距离，以及吸枪相对于漏孔的夹角、移动速度与大气中的氦浓度、稳定性等。

为此，采用吸入法检漏时需要注意：吸枪与被检表面的距离一般不要超过1mm，吸枪的移动速度不要超过2cm/s；提高内部充入氦气的压力可以提高检漏灵敏度，但是需要防止大漏孔时浪费氦气以及对检漏仪本底的干扰。一般情况下利用低充气压与低氦分压进行粗检，遇大漏孔要及时修补，然后再以高充气压及高氦分压进行精检；校准检漏灵敏度时，要注意大气中氦的分压，如果大气中氦的检漏仪指示大于氦气通过标准漏孔时检漏仪指示的30%，就需要降低大气中的氦分压，否则即使继续检漏也没有实用价值；最后虽然提高内部氦气充入压力可以提高检漏灵敏度，但是要注意不要超过被检件的强度或刚度容许值，同时检漏完毕要注意对氦气的回收以及场地的通风问题。

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