氦质谱检漏作为目前真空应用中较为广泛的一种检漏技术，发展出了多种多样的检漏方式。但氦质谱检漏仪经过长时间使用后，就有可能出现灵敏度降低的情况。今天螺杆真空泵厂家就和大家一起分享下，遇到检漏仪灵敏度降低时该怎么去维护。

影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。这次螺杆真空泵厂家分享的主要是其中离子源质谱分析管受到污染后的维护方法。当发现检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。

这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：

先用最细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油或丙酮和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；最后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使检漏仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。

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