《螺杆真空泵厂家的简明真空测量技术演变史》中，珂勒曦简要列举了真空测量技术发展过程中的几个主要节点。可以看出从上世纪七八十年代开始，真空测量的下限就已经难以提高了。在如今这个科技迅猛发展的时代，是什么限制了真空测量下限的突破呢？

真空测量技术在上个世纪其理论测量下限就已经到10^-14Pa。到如今同样是倍增器热磁控规，其理论测量下限仍在10^-15Pa。而且这仅仅是理论上的，实际测量下限在10^-11Pa左右。限制真空测量下限难以突破的原因有很多，主要的包括几个方面：

首先是真空规管的限制。目前极高真空的测量采用的都是电离规管，使用中会存在一些问题。像热阴极电离规管中，热阴极对收集极和玻璃管壳引起的光电发射，软X射线产生的光电流以及电解吸等影响外，高温的热阴极还会产生较高的金属蒸气压，如钨阴极在2000K工作温度时的蒸气压相当于氮的10^-10Pa。而冷阴极电离规管在低压力时存在放电不稳定、非线性、滞后现象以及电清除能力大的等影响，以及对收集极引起的场致发射、二次发射等。另外还有规管电极、管壳内壁的放气、吸气，大气中氦对玻璃管壳的渗透、氢对不锈钢管壳的渗透，收集极与其他各电极间的漏电。这些问题都会对真空测量设备的测量造成影响。

其次测量仪表线路的限制。极高真空测量使用的电离真空计需要依靠测量离子流的大小来反映被测气体的压力。而受弱电流测量技术的限制，目前微电流测量放大器直接测量最低电流的稳定水平在10^-16A左右，限制了真空测量设备的下限。并且，热磁控式电离规管的低发射电流稳定技术上也存在问题。

另外，作为相对真空计，电离规管的使用需要进行校准，而目前缺乏不大于10^-12Pa的可靠的真空校准系统，限制了真空测量设备对极高真空的测量。而且对于10^-12Pa或更高的真空度，实际上目前是缺乏可靠的测量证明的，严谨地说就是超过这个值的都仅仅是理论上的猜测，无法证明。

以上这些问题的存在不孤立而且相辅相成，就造成了当前真空测量的下限难以再获得突破性的进展。因此这方面要获得进展需要等待新技术、新原理或者是新概念的出现。

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