伴随着真空技术的发展，真空测量技术也从粗真空走向超高真空领域。螺杆真空泵厂家珂勒曦梳理了真空测量技术几个世纪以来的发展过程，列出了几个重大发展节点，可以让大家对真空测量技术的发展有更加直观简明的认识。

用于真空测量的几种真空计

自1643年意大利物理学家托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计，它只能用来测量粗真空和低真空。

1874年，麦克劳发明的压缩式真空计，解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但在当时不能进行连续测量。

1906年，皮拉尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。

1916年，贝克利于发明电离真空计，这在当时不仅解决了10^-1～10^-5帕的高真空测量，而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。

1937年，潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。

1950年，贝阿德和阿尔伯特发明BA式电离真空计，解决了10^-8帕的超高真空测量问题，从而使真空测量获得了突破，并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。

1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10^-11帕左右的超高真空测量。

此后，真空测量技术领域在新原理方面没有出现明显突破性的进展，1973年提出的管型倍增器真空计，也只是预计可测至10^-14Pa真空，较多的是在原有基本清晰的原理思路上的改进与补充，处于一个相对稳定的时期。但技术的发展不会停止，相信新成果仍将会不断涌现，将真空科学技术推向新的高峰。

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