2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，干式真空泵慢慢得到了大家的青睐。干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

珂勒曦干式螺杆真空泵 

4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机 溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染,若是出现油污染，则需要进行相应的维修，一定不可怠慢。 同时，珂勒曦提供专业的干式真空泵维修服务，如果您需要提供真空泵维修服务，我们珂勒曦竭诚为您提供优质的售后服务！

珂勒曦螺杆真空泵拥有核心主机制造技术，一流的加工、检测平台，为您提供高效稳定、节能环保的真空泵产品。如果您对珂勒曦螺杆真空泵产品感兴趣或想了解更多信息，欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线：400-886-7766，期待您的来电。