介绍过静态升压法等3种真空系统检漏法后，螺杆真空泵厂家今天要说一说第4种在真空检漏中得到广泛应用的检漏技术——真空计检漏法。

螺杆真空泵厂家珂勒曦的小编已经提到发布过不少关于真空计的内容，如：选择真空计前要了解些什么、各种真空计的介绍等等，有兴趣的话可以参见文末下方的推荐阅读。真空计分绝对真空计与相对真空计，测量的特点也有所不同。而真空计检漏法即是利用了相对真空计的读数与被测气体的种类有关这一特性，来进行真空系统检漏。因为真空计检漏法可以直接利用安装在真空系统上的相应真空计，因此不需要增加特殊的检漏装置，因此在真空检漏中得到了广泛应用。

常用的真空计检漏法主要是热传导真空计法与电离真空计法。以热传导真空计法为例，它是利用低压下不同气体种类的热传导能力差异与压力的关系来分析真空系统泄漏情况。使用时，要保证被检系统处于一个压力不变的动态平衡状态，将示漏气体喷吹于可疑处（也可能用有机溶剂涂抹，但易吸附、堵塞漏孔，并造成污染）。一旦有漏孔存在，示漏气体会通过漏孔进入被检系统，因为示漏气体的热传导能力与原系统的气体成分差异大，会引起明显的热传导性质变化，热传导真空计的仪表读数在原有的平衡基础上就会发生波动变化，根据这些确定漏孔位置并根据读数变化换算漏率大小。相应地，电离真空计法利用的即是示漏气体进入后导致的离子流变化来进行换算。

真空系统检漏中应用真空计检漏法要考虑示漏气体种类与真空计的特性的配合，选择示漏气体对应的特性差异要明显有别于原有气体成分，如热传导真空计的热传导能力、电离真空计的电离电位。其次为便于准确地观察前后数据变化，要保证被检前被检系统压力处于稳定的平衡状态，测量的真空计规管也要处于稳定的状态，防止虚假数据误导。同时真空计规管存在惰性，需要观察足够的时间。

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