前文提到的牵引分子泵由于抽速小，易出机械故障等原因，单泵方面没有推广应用开来。后来德国人贝克发明了另外一种分子泵，不仅可以获得超高真空，而且具有抽速大等优点。接着上一篇，干式螺杆真空泵厂家今天就来简单介绍一下分子泵中的涡轮分子泵。

涡轮分子泵区别于牵引分子泵，它是以高速旋转的动叶片与静止的静叶片相互配合来实现抽气的：

如上图所示，涡轮分子泵由多级叶列组成，转子与定子按次序交替排列。叶列的级数与压缩比有关；叶片的形状会同时影响抽速与压缩比，入口抽速大压缩比小，接近出口则相反。分子泵工作时吸入压力大多在1Pa以下，此时分子流状态下，分子间的平均自由行程大，与高速旋转的叶片之间的碰撞几率远高于分子之间的碰撞。因此高速旋转的叶片会使气体在外摩擦作用下，形成定向运动流向出口，产生抽气效果，转速越高，对抽速越有利。

随着轴承技术、数控技术的发展，空气轴承、磁悬浮轴承等的应用，涡轮分子泵很好地解决了油污染的问题，目前工作范围可以从1Pa到10^-9Pa，抽速则从50L/S发展到了25000L/S，甚至到达了40000L/S。

与牵引分子泵相比，涡轮分子泵在分子流状态下抽速优势明细，但同时它在过渡流及黏滞流状态下抽速会很小，对前级泵的要求较高。而牵引分子泵的压缩比与抽气槽形有关，提升简单，因此就出现了结合两种分子泵有点的复合分子泵。干式螺杆真空泵厂家在下一篇中继续为大家介绍。

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