珂勒曦小课堂:分子真空泵之复合分子泵
信息来源:珂勒曦 时间:2018-05-04 08:45:00 浏览次数:-
复合分子泵结合了涡轮分子泵与牵引分子泵两者优点,在抽速、压缩比以及前级压力上都获得了提高,扩大了分子泵的使用范围,因此获得了更广泛地应用。干式螺杆真空泵厂家紧接着前面两篇,继续介绍复合分子泵。
复合分子泵可以看作是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联。涡轮级用于提高抽速,一般采用利于提高抽速的叶片形状,级数一般不超过10级,而牵引级则主要负责提高压缩比,提高泵的出口压力。涡轮级与牵引级衔接的过程中需要设置过渡级防止返流,影响抽速。串联后实现了直接向大气排气而无需前级泵。
通过上图可以直观的了解复合分子泵的构成。复合分子泵的形式变化主要是来自于牵引级的变换。包括涡轮叶片与盘式牵引泵串联以及与筒式牵引泵串联。
盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。
筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽,充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。
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