扩散泵抽气系统常见于高真空与超高真空应用中。今天螺杆真空泵厂家和大家一起来了解下扩散泵抽气系统在应用中的一般操作步骤是怎样的。

一、扩散泵抽气系统在启动前，首先要接通扩散泵的冷却水，调整水温继电器的温度设定值，然后开通机械真空泵进行粗抽。

二、启动机械真空泵前，要检查机械泵的油位等是否符合要求，高真空阀及前级阀是否关闭。打开粗抽阀，在中小型的抽气系统中，只需要简单的粗抽管道。但在一些特殊要求的大型真空系统中，可能需要多步程序进行粗抽：首先是通过一个小直径的孔或旁路对真空室进行粗抽，当压力降到没有紊流存在时，再打开主粗抽阀门。

三、当真空室的压力降到100Pa以后，可打开前级管道阀并给扩散泵加热器通电。如果扩散泵已经处于真空封闭状态，则可在第一步中同时进行扩散泵的加热工作。当扩散泵开始通电加热时，如果电源有调压器，开始适当增加电压，但泵油接近于蒸发温度时应把电压调回到规定电压，这样可以加快启动。另外这个过程中需要注意避免时间过长导致泵油裂化。

四、一般将系统粗抽到15～20Pa时，关闭粗抽阀，等扩散泵正常工作以后（即油蒸气射流正常喷射），打开高真空阀进行抽气。

五、如果扩散泵正常工作一段时间后，被抽容器的真空度仍旧没有提高，一般就是真空系统的漏气率太大，应当关闭高真空阀，待系统漏率符合要求后再打开高真空阀进行抽气。

当扩散泵抽气系统关闭时，则要首先关闭高真空阀，如有配有冷阱，还需要在高真空阀关闭后，使冷阱升温，用扩散泵抽走冷阱放出的气体和蒸气，然后切断扩散泵加热源（有冷阱则需要回升到0℃）；当扩散泵冷却到50℃时，关闭前级阀，然后关掉机械泵，并向泵内放入大气；随后关闭扩散泵的冷却水；在真空系统停止工作后，如无特殊要求，应将系统各元件保持在真空状态下封存，但机械真空泵内应通大气。

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