螺杆真空泵厂家珂勒曦在介绍真空计时提过，不同的真空计对应不同的的量程，因此不能依靠一种真空计来实现整个范围的真空度测量。但在一些常见的真空范围内有没有一些测量范围较宽的真空计呢？今天我们就来认识一种宽量程的真空计——石英真空计。

石英真空计采用了石英晶体振荡器（石英晶振）作为压力传感器。石英晶体在气体中的振荡是一种受气体磨擦力作用的阻尼振荡。当石英晶振在谐振时，受到其所在空间气体的阻力作用，会表现出一种联系就是：气体压强高其阻抗就高，气体压强低其阻抗就低。因此，通过测量电路知道石英晶振的谐振阻抗，根据相应规律也就可以得出对应的气体压强了，这就是石英真空计的基本原理。

为了实现较宽的真空度测量量程，石英真空计采用的是谐振阻抗随其周围气体压强变化明显的音叉型石英晶振作为气压敏感元件。其测量上限可至2×10⁵Pa，下限受其自身固有阻抗以及温度的影响，最低可测量到10^-2Pa，误差为10%左右，普遍的可以实现10^-1～10⁵Pa的量程范围。因此在粗中真空范围内，石英真空计量比传统的热传导真空计（电阻计和热偶计）精度高、可靠性好。

但是石英真空计的谐振阻抗与气体阻力有关，而不同的气体种类阻力不同，因此石英真空计的读数需要根据气体性质做出调整。而且不同的晶振都有独自的Z-p曲线（阻抗压力曲线），用作真空计用的每支晶振都需要经过测试。实际使用中，石英真空计会将具体的谐振阻抗（Z）与气体压力（p）的关系曲线存入单片机，通过单片机将测得的谐振阻抗（Z）转换成气体压力p显示在数码管上。

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