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珂勒曦小课堂:真空容器的检漏工艺要求

信息来源:珂勒曦 时间:2018-11-16 08:02:00 浏览次数:-

真空容器或者说真空室是真空系统中的重要组成部件。螺杆真空泵厂家珂勒曦曾介绍过真空容器在选材上的一些注意事项,那在不可或缺的真空检漏中,真空容器有哪些需要满足的检漏工艺要求呢?

真空容器氦质谱检漏

在介绍漏率等一些与真空检漏相关的内容中,螺杆真空泵厂家提过不存在绝对不漏的真空系统。因此不同的真空系统都有着对应的允许漏率。真空容器的检漏方法也是主要根据对应的允许漏率来确定,同时兼顾检漏速度以及经济性、可靠性等。一般情况下,真空容器会选择氦质谱真空检漏这样的检漏方式(氦是惰性气体,使用比较安全;原子量小、粘度小, 容易渗透漏隙,检测灵敏度高、速度快; 另外氦在大气中含量少, 离子质量与其它气体离子质量相差很大, 不易受干扰),具体的检漏工艺要求主要包括以下几个方面:

一、检漏前,真空容器焊缝上的焊渣、氧化皮需要清除,并进行必要的情节及烘烤处理。

二、涉及温度交变的零部件,应在做完高低温冲击试验后再进行检漏。

三、经过冷拉及弯曲加工的部位,尤其是薄壁件,即使没有焊缝也需要进行检漏。

四、真空容器所配置的标准件,如阀门、波纹管、接头、芯柱等需要在检漏后,再组装到容器上。

五、大型的真空容器,未成型前就需要对焊缝进行检漏。通常可以采用检漏盒法,检漏盒长30~50cm,每个检漏盒所罩焊缝漏率应小于1×10-9Pa·m3/s。

六、检漏系统的有效最小可检漏率应比检漏要求的漏率低半个数量级。

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