真空泵按其原理可以分为气体传输泵与气体捕集泵两个大类。常见的水环、罗茨、喷射泵等容积泵都是气体传输泵中的一种。不过今天螺杆真空泵厂家要和大家一起来认识下另一大类中——气体传输泵的具体形式有哪些。

气体捕集泵的抽气机理是将气体吸附或凝结在泵内表面上。它的形式大的方面可以分为低温泵与吸附泵，其下还有若干具体形式。

首先是低温泵。螺杆真空泵厂家在《珂勒曦小课堂：低温真空泵知一二》中有过介绍，因此这里不再重复，大家可以在站内搜索文章。

其次是吸附泵。吸附泵主要依靠具有大表面积的吸附剂的物理吸附作用来抽气。根据具体机理的不同，种类较多：

一、分子筛吸附泵。关于分子筛吸附泵，在《珂勒曦小课堂：分子筛与分子筛吸附泵》中，螺杆真空泵厂家也有过介绍。其主要是利用了硅铝酸盐晶穴结构对极性分子的吸附力。

二、溅射离子泵。溅射离子泵的机理是通过电子发射在阴极溅射出吸气材料来吸附泵内被电离的气体。具体机理参见《珂勒曦小课堂：溅射离子泵的原理》。

三、钛升华泵。通过加热钛，使其升华，并在其升华与沉积的过程中与活性气体形成稳定化合物，达到抽除气体的目的。

四、电离升华泵（轨旋式离子泵）。兼具了溅射离子泵与钛升华泵的特点，通过电子溅射电离气体并撞击阳极钛柱使钛升华，最后在泵壳形成钛膜抽除活性气体，正离子被阴极捕集。

五、锆铝合金吸气泵。锆铝合金吸气泵利用了锆铝合金材料在高温下吸附活性气体的特性，涉及吸附与扩散过程，具体原理可见《锆铝吸气剂泵，来简单了解下》。

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