真空获得设备的发展离不开真空技术。今天螺杆真空泵厂家珂勒曦就和大家一起谈谈真空技术发展过程中的一些重要节点。

真空技术发展过程中的重要参与与推动者

最早的真空获得和应用，可追溯到公元前6世纪。那时炼铁炉配备的鼓风设备就是负压吸气和增压排气的运用，原理类似现在的往复式真空泵。更为典型的就是中医中的拔火罐，利用空气热胀冷缩、蒸汽冷凝等原理来形成罐内真空。

17世纪，历史开始有了真空获得的确切记载。1643年，意大利人托利拆里通过他的实验测出了1个标准大气压的大小约为760mm汞柱或10.3m水柱。随后他的学生帕斯卡又将托利拆里实验搬到了山上，并证明大气压与高度有关。

1654年，德国人葛利克发明了活塞真空泵，并进行了举世闻名的马德堡半球实验，证明了大气压的巨大力量。

1662年，英国人波义耳发现在密闭容器中的定量气体，在恒温下，气体的压强和体积成反比关系。这就是波义耳定律，也是人类历史上第一个被发现的“定律”。

到18世纪，1738年瑞士人伯努利提出气体分子运动论，奠定了真空技术最初的理论基础。

从1643年托利拆里获得真空，到1879年爱迪生发明碳丝电灯泡的200多年时间里，真空技术的发展伴随着电子学的诞生。真空技术为电子技术的发展开辟了道路。而20世纪初，电子技术的发展又推动了真空技术的发展。

1905年德国人盖得发明了机械泵；1906年皮拉尼发明热阻真空计；1913年与1915年盖得又先后发明了分子泵与扩散泵；1916年贝克利发明了热阴极电离计。真空技术开始从低真空发展到高真空。尤其是希克曼1936年发明了分馏式油扩散泵、潘宁1937年发明了冷阴极电离计，使得高真空技术在获得和测量两方面得到了完善。

1940年以后，真空技术在原子能方面得到广泛应用，并在真空冶金、真空镀膜、真空冷冻、干燥等方面得到扩展。到1950年，真空范围就提高到了10^-4～10^-5Pa。同年贝阿德与阿尔伯特发明B-A规，为测量超高真空创造了条件。1953年吸气剂离子泵的出现，开始使人们可以获得清洁超高真空。

20世纪50年代到70年代，真空技术融入了许多尖端科学技术并得到迅速发展。高能加速器、等离子体核聚变装置、微电子学中的超大规模集成电路，特别是航天技术，促使真空技术发生新的飞跃。真空进入了“超清洁”时代，压力范围从10^-4～10^-5Pa发展到10^-12～10^-13Pa，低温泵的抽速达到了1000万L/S。到了80年代，随着半导体行业、化学工业、薄膜产业的发展，推动了干式真空泵的发展，并出现了螺杆真空泵这样的新的真空获得设备。

如今真空技术随着新应用的开拓，不断发展，成为许多学科创新的条件与手段，各种技术交叉渗透，更是丰富了真空技术的内涵，让真空技术一步步接近“理想真空”。

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