卤素检漏仪是真空检漏设备中的一种。螺杆真空泵厂家在《真空检漏仪器之卤素检漏仪》中作了介绍。现在我们再来了解下卤素检漏仪在使用与维护过程中需要注意的一些内容。

卤素检漏仪在使用中，如果其敏感元件长时间处于浓度较高的卤素气体气氛中，会产生中毒效应，使灵敏度下降。当仪器短时间中毒时，在清洁的不含卤素的空气中工作一段时间还可以恢复。但长时间中毒时，恢复的可能性就比较小。这点在使用中需要特别注意。为此卤素检漏仪在使用时要求仪器附近不得倾倒含有卤素化合物的污物，检漏场地要有良好的通风设施。另外，敏感元件不宜用酒精或其它碳氢化合物来清洗，因为这些物质会使敏感元件性能变坏。

卤素气体比空气重，进行检漏时，必须先从被检件的下部开始。检出的漏孔要及时做临时性的堵塞或永久性的修补，因为在大漏孔修补前要想检出小漏孔是比较困难的。用移动式卤素检漏仪进行检漏时，通过大漏孔漏出的较多的卤素气体将逸散到其他角落和裂缝附近，若停留时间较长，也可能被探头探及，给出不应有的干扰信号。这种情况与滞留空间的几何形状及通风情况有关。为此，实际检漏中，良好的通风是很重要的。

橡皮和塑料容易吸收卤素气体，而且还会逐渐放出来，会使卤素检漏仪出现不稳定现象，干扰检漏工作。因此，卤素检漏仪使用中，检漏系统最好避免使用橡皮与塑料材料。

卤素气体的扩散系数比较小，在使用移动式卤素检漏仪进行检漏时，为了使被检件内各处的示漏气体浓度一致，需要有较长的等待时间。

当卤素气体浓度较高时，卤素检漏仪的指示值与浓度的关系是非线性的。因此在做定量测量时，进入探头的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。

固定式卤素检漏仪的敏感元件是在真空条件下工作的，适应的工作压力范围为0.1Pa～10Pa，压力低了灵敏度反而低，所注意在做高真空系统检漏时，探头应装在扩散泵的前级。

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